第268章 十年先知(1/5)
贝格曼在前面引路,把众人领进了曝光与刻蚀工段区域。而施泰纳则特意落后半步,与陆怀民并肩而行。
“路博士,您刚才提到镀铬工段的低温退火,是从我们哪篇公开论文里读到的?”施泰纳的语气漫不经心,像在闲谈。
“贵司一九七九年在《精密工程》上发过一篇关于Diadur工艺的综述,第三页有一张镀层界面的扫描电镜照片。”陆怀民说:
“那张照片上的铬层晶粒形貌与常规蒸镀工艺不同,晶界排列更整齐,更像是经历了一次低温应力释放。”
施泰纳的脚步顿了一下。
“就凭一张电镜照片?”
“还有你们在工艺参数表里标了一个‘稳定化处理”,但后面没有展开。”陆怀民笑了笑,“所以我猜是退火。当然,只是猜测。”
施泰纳惊诧地看了他一眼,没有再问。
说话间,众人进了曝光与刻蚀工段。
这里的整个工段被巨大的玻璃幕墙分隔成更小的操作间。
每个操作间里都有工程师在埋头作业,隔着玻璃几乎听不见任何声音。
“这里就是我们光栅尺生产中最核心的环节。”施泰纳收拢心神,恢复了介绍的节奏,指向最近的一个操作间,介绍道:
“光栅尺的精度很大程度就是在这个环节决定的。基本思路是用紫外曝光灯配合高精度折反式光路,把母版上的栅线图案一比一地转移到铬层表面,再通过控时蚀刻把多余的铬去掉。”
顿了顿,他骄傲地补充道:
“目前我们的公差控制已经达到了纳米级。”
“前面是母版刻划区。”施泰纳继续在前面引路:
“我们目前一共有三台母版刻划机。其中一台六十年代从蔡司购入,剩下两台,都是我们自己设计的。”
众人穿过母版刻划区,又参观了光刻复制、显影、定级等几个工段,边走边讲。
每到一处,他都故意抛出几个专业细节来问陆怀民。
陆怀民听得多,说得极少,只就公开的文献内容做了一点常识性回应。
但却频频让施泰纳刮目相看。
一行人从量产线出来时,已是上午十一点。
“路博士,奥斯特教授,两位下午有什么安排吗?”施泰纳站在连廊口,忽然问了一句。
“我们听从贵方安排。”奥斯特教授说。
“那么,下午一点半,我带两位去东区。”施泰纳笑了笑:
“那里是海德汉的下一代产品研发区。按照公司惯例,研发区不接待任何外部人员,包括合作伙伴在内。不过,海德汉博士特别交代,路博士和奥斯特教授可以破例一次。”
“感谢贵公司的信任。”陆怀民不动声色地道了谢。
施泰纳没有再多说,做了个请的手势,带着两人往餐厅走。
午餐安排在公司内部的贵宾室。
海德汉方面出席的人不多,恩斯特·海德汉、施泰纳、贝格曼,加上奥斯特教授与陆怀民,一共五个人。
席间,恩斯特·海德汉很少谈及技术,反而问了陆怀民一些关于中国机械工业现状的事。
问的问题都比较宽泛,属于客套性的关心。
陆怀民也如实回答:
中国机床行业基础薄弱,正在学习消化国外先进技术;中国政府重视工业升级,开始大规模培养数控领域的人才。
恩斯特·海德汉听了微微点头:“路博士能在这种基础情况下脱颖而出,更让